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Rodrigo Savio Pessoa

Engenharias

Engenharia Aeroespacial
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  • síntese de filmes de sic pela técnica de deposição hipims visando aplicações em microdispositivos eletrônicos de interesse aeroespacial
  • O carbeto de silício (SiC) exibe excelentes propriedades elétricas e mecânicas as quais propiciam sua aplicação na confecção de dispositivos que podem operar em ambientes quimicamente agressivos ou a altas temperaturas, condições essas em que seria impraticável o uso do silício (Si). Sabe-se que o Si é sensível a ambientes extremos como, por exemplo, atmosferas corrosivas, altas temperaturas (>175ºC) e radiação intensa, por esse motivo, o SiC tem sido um dos semicondutores pesquisados para suprir essa deficiência. De acordo com estudo da TechNavios, a taxa de crescimento mercadológico do SiC entre 2021-2028 será de 148% e o principal fator responsável por essa marca é a demanda do setor industrial. Consequentemente, as pesquisas voltadas para processos e técnicas que sintetizam o SiC para fabricação de microdispositivos como sistemas micro-eletromecânicos (MEMS), continuam sendo foco de grande interesse. Nesse sentido, a emergente técnica de deposição de materiais que se utiliza do plasma tipo magnetron sputtering pulsado HiPIMS tem possibilitado obter filmes com propriedades melhoradas, a citar: boa cristalinidade, alto nível de compactação, e para semicondutores como SiC, baixa resistividade e alto modulo de elasticidade, características estas essenciais para aplicações como MEMS. Assim, filmes de SiC serão depositados por HiPIMS sobre Si recoberto com nitreto de alumínio (AlN) em diferentes condições de processo. Os filmes produzidos serão investigados quanto às características: química, elétrica, mecânica e estrutural. Essa investigação busca condições ideais para obtenção de um material com as propriedades básicas para produção de dispositivos microeletrônicos, mais especificamente, “acelerômetros piezoresistivos (AP) ” devido à importância desses no setor aeronáutico/aeroespacial. Finalmente cabe citar o interesse da empresa “Turbomachine Technology” em apoiar o desenvolvimento de um sensor de vibração, a partir do AP de SiC, para aplicação em turbina à gás.
  • Instituto Tecnológico de Aeronáutica - SP - Brasil
  • 06/12/2022-31/12/2026
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